微透镜阵列的光刻胶热熔制作技术

被引：7

作者：

任智斌 ^{[1
]}

朱丽思 ^{[2
]}

曾皓 ^{[3
]}

姜会林 ^{[1
]}

机构：

[1] 长春理工大学空间光电技术研究所

[2] 长春理工大学光电信息学院

[3] 长春理工大学光电工程学院

来源：

长春理工大学学报 | 2006年 / 04期

关键词：

微透镜阵列; 光刻胶热熔; 反应离子刻蚀;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

介绍了利用光刻胶热熔法制作微透镜阵列这种简单、实用的技术。阐明了其原理、工艺流程、关键技术并给出了实验结果。结果表明,光刻胶热熔技术是一种简单、实用的微透镜阵列制作技术。本文的研究结果可为微透镜阵列的进一步研制及产业化提供参考。

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共 3 条

[1]

二元光学.[M].金国藩等著;.国防工业出版社.1998,

[2]

抗蚀剂及其微细加工技术.[M].顾振军;孙猛主编;.上海交通大学出版社.1989,

[3]

Precise algebraic method to solve the noncemented two-lens objective free from the aperture aberrations..Tadeusz Kryszczynski;.SPIE.1999,