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MOCVD法制备金属陶瓷功能梯度材料的研究
被引：4
作者：
章娴君
郑慧雯
张庆熙
王显祥
机构：
[1] 西南师范大学化学化工学院
[2] 四川农业大学生命科学与理学院 重庆
[3] 重庆 巴蜀中学
[4] 重庆
[5] 四川雅安
来源：
关键词：
功能梯度材料(FGM);
金属有机化学气相沉积(MOCVD);
X射线光电子能谱(XPS);
表面形貌;
D O I：
暂无
中图分类号：
TB34 [功能材料];
学科分类号：
080501 ;
摘要：
利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法,以Mo(CO)6,Si(OC2H5)4为物源,在Al2O3陶瓷基片上制备了金属陶瓷功能梯度材料,并用XPS,XRD,SEM等技术对其成分分布,物相组成和表面形貌进行测试和表征.结果表明:材料的组成沿厚度方向呈连续梯度变化,符合功能梯度材料的变化规律.
引用
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页码：682 / 686
页数：5
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