Heat balance during plasma immersion ion implantation

被引：42

作者：

Manova, D. ^{[1
]}

Mändl, S. ^{[1
,3
]}

Rauschenbach, B. ^{[2
]}

机构：

[1] Institut für Physik, Universität Augsburg, Augsburg, Germany

[2] Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig, Institut für Experimentelle Physik II, Universität Leipzig, Germany

[3] Institut für Oberflächenmodifizierung, Permoserstr. 15, 04303 Leipzig, Germany

来源：

关键词：

D O I：

10.1088/0963-0252/10/3/305

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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