Molecular dynamics simulation of the nanometric cutting of silicon

被引:121
作者
Komanduri, Ranga
Chandrasekaran, N.
Raff, L.M.
机构
[1] School of Mech. and Aerospace Eng., Oklahoma State University, Stillwater, OK, United States
[2] Chemistry Department, Oklahoma State University, Stillwater, OK, United States
来源
| 1989年 / Taylor and Francis Inc.卷 / 81期
基金
美国国家科学基金会;
关键词
D O I
10.1080/13642810110069260
中图分类号
学科分类号
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