Qualification of spreading resistance probe operations. I

被引：19

作者：

Clarysse, T. ^{[1
]}

Vandervorst, W. ^{[1
,2
]}

机构：

[1] IMEC, Mat. and Components Analysis Group, B-3001 Leuven, Belgium

[2] KU Leuven, INSYS, B-3001 Leuven, Belgium

来源：

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures | 2000年 / 18卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.591199

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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