Surface roughness exacerbated performance degradation in silicon nanowire transistors

被引：14

作者：

Basu, D. ^{[1
]}

Gilbert, M.J. ^{[1
]}

Banerjee, S.K. ^{[1
]}

机构：

[1] Microelectronic Research Center, University of Texas at Austin, Austin, TX 78758

来源：

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures | 2006年 / 24卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1116/1.2353846

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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