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Six-axis controlled nanometer-order positioning stage for microfabrication
被引：9
作者：
Nomura, Takehiko
[1
]
Suzuki, Ryouichi
[1
]
机构：
[1] Toshiba Corp, Yokohama, Japan
关键词：
11;
D O I：
10.1088/0957-4484/3/1/005
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
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