SEED SELECTION THROUGH ION CHANNELING TO PRODUCE UNIFORMLY ORIENTED POLYCRYSTALLINE Si FILMS ON SiO2.

被引：7

作者：

Kung, E.T.-Y. ^{[1
]}

Iverson, R.B. ^{[1
]}

Reif, R. ^{[1
]}

机构：

[1] MIT, Cambridge, MA, USA, MIT, Cambridge, MA, USA

来源：

Materials Letters | 1984年 / 3卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1016/0167-577X(84)90007-7

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

SEMICONDUCTING SILICON

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