HIGH RESOLUTION OPTICAL LITHOGRAPHY BY FORMATION OF A BUILT ON MASK (B. O. M. ).

被引：10

作者：

Vollenbroek, F.A. ^{[1
]}

Nijssen, W.P.M. ^{[1
]}

Kroon, H.J.J. ^{[1
]}

Yilmaz, B. ^{[1
]}

机构：

[1] Philips Research Lab, Eindhoven, Neth, Philips Research Lab, Eindhoven, Neth

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0167-9317(85)90033-4

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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