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Morphology and size of nanostructured Cu, Pd and W generated by sputtering
被引：48
作者：
Haas, V.
Birringer, R.
机构：
来源：
Nanostructured Materials
|
1992年
/
1卷
/
06期
关键词：
D O I：
10.1016/0965-9773(92)90082-9
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
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