NOVOLAK CALIBRATION METHOD APPLIED TO THE GPC ANALYSIS OF THE UV PHOTORESISTS.

被引：9

作者：

Paniez, Patrick ^{[1
]}

Weill, Andre ^{[1
]}

机构：

[1] CNET, Meylan, Fr, CNET, Meylan, Fr

来源：

Microelectronic Engineering | 1986年 / 4卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1016/0167-9317(86)90005-5

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

13

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