HAFNIUM NITRIDE COATINGS PREPARED BY VERY HIGH RATE REACTIVE SPUTTERING.

被引：57

作者：

Sproul, William D. ^{[1
]}

机构：

[1] Borg-Warner Corp, Roy C. Ingersoll, Research Cent, Des Plaines, IL, USA, Borg-Warner Corp, Roy C. Ingersoll Research Cent, Des Plaines, IL, USA

来源：

| 1600年 / 118期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(84)90198-6

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用