Scanning optical profilometer using the SNOM architecture

被引：5

作者：

Jalocha, A. ^{[1
]}

Pieralli, C. ^{[1
]}

机构：

[1] Universite de Franche-Comte, Besancon, France

来源：

Pure and applied optics | 1994年 / 3卷 / 05期

关键词：

Interference pattern - Profilometry - Profilometry mode - Scanning near field optical microscope - Scanning optical profilometer - Signal analysis - Tip shape and size - Tip surface distance;

D O I：

10.1088/0963-9659/3/5/010

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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