OPTICAL LITHOGRAPHY SIMULATION: INTRODUCTION TO SPESA.

被引：7

作者：

Bernard, Douglas A. ^{[1
]}

机构：

[1] Signetics Corp, Philips Research Lab, Sunnyvale, Sunnyvle, CA, USA, Signetics Corp, Philips Research Lab Sunnyvale, Sunnyvle, CA, USA

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0167-9317(85)90048-6

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

LITHOGRAPHY

引用

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