Application of the LIGA technique for the development of microactuators based on electromagnetic principles

被引：11

作者：

Lehr, H. ^{[1
]}

Ehrfeld, W. ^{[1
]}

Schmidt, M. ^{[1
]}

Kallenbach, E. ^{[1
]}

Tuan, H.A. ^{[1
]}

机构：

[1] Inst fuer Mikrotechnik GmbH, Mainz, Germany

来源：

Journal of Micromechanics and Microengineering | 1992年 / 2卷 / 04期

关键词：

601.1 Mechanical Devices - 701.1 Electricity: Basic Concepts and Phenomena - 701.2 Magnetism: Basic Concepts and Phenomena - 705.1 Electric Machinery; General - 708 Electric and Magnetic Materials - 732.1 Control Equipment;

D O I：

10.1088/0960-1317/2/4/002

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

页码：229 / 233