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Electrostatically levitated microactuators
被引：7
作者：
Kumar, Suresh
[1
]
Cho, Dan
[1
]
机构：
[1] Princeton Univ, Princeton, United States
关键词：
601.2 Machine Components - 601.3 Mechanisms - 701.1 Electricity: Basic Concepts and Phenomena - 731.3 Specific Variables Control - 731.4 Control System Stability - 732.2 Control Instrumentation;
D O I：
10.1088/0960-1317/2/2/005
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
11
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