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Non-planar and masked-area epitaxy by organometallic chemical vapour deposition
被引:5
作者
:
Bhat, R.
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
Bellcore, Red Bank, United States
Bellcore, Red Bank, United States
Bhat, R.
[
1
]
机构
:
[1]
Bellcore, Red Bank, United States
来源
:
Semiconductor Science and Technology
|
1993年
/ 8卷
/ 06期
关键词
:
Semiconducting Gallium arsenide;
D O I
:
10.1088/0268-1242/8/6/003
中图分类号
:
学科分类号
:
摘要
:
引用
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页码:979 / 983
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