Non-planar and masked-area epitaxy by organometallic chemical vapour deposition

被引:5
作者
Bhat, R. [1 ]
机构
[1] Bellcore, Red Bank, United States
关键词
Semiconducting Gallium arsenide;
D O I
10.1088/0268-1242/8/6/003
中图分类号
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