PROXIMITY EFFECTS IN SUBMICRONIC LITHOGRAPHY.

被引：1

作者：

Izrael, A. ^{[1
]}

Bellessa, J. ^{[1
]}

Akamatsu, B. ^{[1
]}

机构：

[1] CNET, Lab de Bagneux, Bagneux, Fr, CNET, Lab de Bagneux, Bagneux, Fr

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0167-9317(85)90047-4

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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