Transmission electron microscopy of surface damages resulting from wet polishing in a polycrystalline aluminum nitride substrate

被引：7

作者：

Takahashi, Yutaka ^{[1
]}

Kikuchi, Masao ^{[1
]}

Suzuki, Shigenobu ^{[1
]}

Suga, Tadatomo ^{[1
]}

机构：

[1] Univ of Tokyo, Tokyo, Japan

来源：

Nippon Seramikkusu Kyokai Gakujutsu Ronbunshi/Journal of the Ceramic Society of Japan | 1991年 / 99卷 / 1151期

关键词：

25;

D O I：

10.2109/jcersj.99.613

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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