Influence of transverse current during In-O vapor deposition

被引：21

作者：

Parkansky, N. ^{[1
]}

Rosenbaum, R. ^{[1
]}

Rosenberg, Yu. ^{[1
]}

Boxman, R.L. ^{[1
]}

Goldsmith, S. ^{[1
]}

机构：

[1] Tel Aviv Univ, Tel Aviv, Israel

来源：

关键词：

12;

D O I：

10.1016/0257-8972(95)02588-X

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

页码：197 / 201