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Absolute fluorine atom concentrations in RIE and ECR CF4 plasmas measured by actinometry
被引：20
作者：
Jenq, J.-S.
Ding, J.
Taylor, J.W.
Hershkowitz, N.
机构：
关键词：
D O I：
10.1088/0963-0252/3/2/005
中图分类号：
学科分类号：
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