APPLICATION OF TITANIUM RIE TO THE FABRICATION OF NM-SCALE STRUCTURES.

被引：7

作者：

Unger, P. ^{[1
]}

Boegli, V. ^{[1
]}

Beneking, H. ^{[1
]}

机构：

[1] Aachen Technical Univ, Aachen, West Ger, Aachen Technical Univ, Aachen, West Ger

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0167-9317(86)90055-9

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

TITANIUM AND ALLOYS

引用

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