STUDY OF ATOMIC TRANSPORT MECHANISMS DURING THERMAL NITRIDATION OF SILICON IN AMMONIA USING 15N AND D LABELLED GAS.

被引：26

作者：

Maillot, C. ^{[1
]}

Roulet, H. ^{[1
]}

Dufour, G. ^{[1
]}

Rochet, F. ^{[1
]}

Rigo, S. ^{[1
]}

机构：

[1] Univ Pierre et Marie Curie, Paris, Fr, Univ Pierre et Marie Curie, Paris, Fr

来源：

关键词：

This work was supported by Centre National de la Recherche Scientifique (GRECO 86);

D O I：

10.1016/0169-4332(86)90073-5

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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