STUDY OF CATALYTICALLY TRANSFORMED NEGATIVE X-RAY RESISTS BASED ON AQUEOUS BASE DEVELOPABLE RESIN, AN ACID GENERATOR AND A CROSSLINKER.

被引：16

作者：

Bruns, A. ^{[1
]}

Luethje, H. ^{[1
]}

Vollenbroek, F.A. ^{[1
]}

Spiertz, E.J. ^{[1
]}

机构：

[1] Philips Forschungslab Hamburg, Hamburg, West Ger, Philips Forschungslab Hamburg, Hamburg, West Ger

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0167-9317(87)90075-X

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

LITHOGRAPHY

引用

页码：467 / 471