CHARACTERIZATION OF THE LITHOGRAPHIC PROPERTIES OF INORGANIC RESISTS WITH NANOMETRE RESOLUTION ON BULK SUBSTRATES.

被引：14

作者：

Macaulay, J.M. ^{[1
]}

Berger, S.D. ^{[1
]}

机构：

[1] Cavendish Lab, Cambridge, Engl, Cavendish Lab, Cambridge, Engl

来源：

关键词：

One of us (JMM) wishes to thank the SERC for financial support;

D O I：

10.1016/0167-9317(87)90083-9

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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