DETECTION OF DEFECT-FREE ZONES IN ANNEALED CZOCHRALSKI SILICON WITH SYNCHROTRON SECTION TOPOGRAPHY.

被引：11

作者：

Tuomi, T. ^{[1
]}

Tilli, M. ^{[1
]}

Anttila, O. ^{[1
]}

机构：

[1] Helsinki Univ of Technology, Lab of, Physics, Espoo, Finl, Helsinki Univ of Technology, Lab of Physics, Espoo, Finl

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.335470

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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