ACCURATE IMAGE MODELING FOR SUBMICRON CD OPTICAL CONTROL.

被引：2

作者：

Guillaume, M.E. ^{[1
]}

Livrozet, P. ^{[1
]}

Buevoz, J.L. ^{[1
]}

Alcouffe-Noailly, N. ^{[1
]}

机构：

[1] CNET, Meylan, Fr, CNET, Meylan, Fr

来源：

Microelectronic Engineering | 1987年 / 6卷 / 1-4期

关键词：

D O I：

10.1016/0167-9317(87)90098-0

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

LITHOGRAPHY

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