3D silicon electrostatic microactuator

被引：3

作者：

Tirole, N. ^{[1
]}

Hauden, D. ^{[1
]}

Blind, P. ^{[1
]}

Froelicher, M. ^{[1
]}

Gaudriots, L. ^{[1
]}

机构：

[1] Microtechniques de Franche-Comte, Besancon, France

来源：

关键词：

Electrostatic tests - Three dimensional electrostatic microactuator;

D O I：

10.1088/0960-1317/3/3/016

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

(Edited Abstract)

引用

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