FABRICATION OF THIN-FILM WARM CARRIER INFRARED LASER DETECTORS USING NITROCELLULOSE SELF-DEVELOPING RESIST.

被引：6

作者：

Yasuoka, Y. ^{[1
]}

Harakawa, K. ^{[1
]}

Gamo, K. ^{[1
]}

Namba, S. ^{[1
]}

机构：

[1] Natl Defense Acad, Yokosuka, Jpn, Natl Defense Acad, Yokosuka, Jpn

来源：

Microelectronic Engineering | 1986年 / 5卷 / 1-4期

关键词：

D O I：

10.1016/0167-9317(86)90062-6

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

11

引用

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