MASK MAKING FOR SYNCHROTRON RADIATION LITHOGRAPHY.

被引：17

作者：

Ehrfeld, W. ^{[1
]}

Glashauser, W. ^{[1
]}

Muenchmeyer, D. ^{[1
]}

Schelb, W. ^{[1
]}

机构：

[1] Kernforschungszentrum Karlsruhe, Karlsruhe, West Ger, Kernforschungszentrum Karlsruhe, Karlsruhe, West Ger

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0167-9317(86)90078-X

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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