BOROPHOSPHOSILICATE GLASS FOR VLSI DEVICE FABRICATION.

被引：4

作者：

Sharp, A.C. ^{[1
]}

Patel, J. ^{[1
]}

机构：

[1] GEC Research Lab, Wembley, Engl, GEC Research Lab, Wembley, Engl

来源：

Vacuum | 1985年 / 35卷 / 10-11期

关键词：

D O I：

10.1016/0042-207X(85)90363-X

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

GLASS

引用

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