Preparation of ZrO2-Y2O3 films by CVD using β-diketone metal chelates

被引：2

作者：

Aizawa, Masanobu ^{[1
]}

Kobayashi, Chihiro ^{[1
]}

Yamane, Hisanori ^{[1
]}

Hirai, Toshio ^{[1
]}

机构：

[1] R&D Div, Chigasaki, Japan

来源：

Nippon Seramikkusu Kyokai Gakujutsu Ronbunshi/Journal of the Ceramic Society of Japan | 1993年 / 101卷 / 1171期

关键词：

21;

D O I：

10.2109/jcersj.101.291

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

页码：291 / 294