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Tenth micron lithography with a 10 Hz 37-2 nm sodium
被引：21
作者：
Silvast, W.T.
[1
]
Wood II, O.R.
[1
]
机构：
[1] AT&T Bell Lab, United States
关键词：
D O I：
10.1016/0167-9317(88)90003-2
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
16
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