Investigation of fabrication parameters for the electron-beam-induced deposition of contamination tips used in atomic force microscopy

被引：66

作者：

Schiffmann, Kirsten Ingolf ^{[1
]}

机构：

[1] Fraunhofer Inst fuer Schicht- und, Oberflaechentechnik, Hamburg, Germany

来源：

关键词：

Atomic force microscopy - Electron beam induced deposition - High aspect ratio carbon contamination tips;

D O I：

10.1088/0957-4484/4/3/006

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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