VACUUM COATING WITH A HOLLOW-CATHODE SOURCE

被引：25

作者：

WILLIAMS, DG ^{[1
]}

机构：

[1] DOW CHEM CO,ROCKY FLATS DIV,POB 888,GOLDEN,CO 80401

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1974年 / 11卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1318624

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：374 / 376

页数：3

共 6 条

[1]

KNOWLES JM, 1970, UCRL50766 REP

[2] HIGHLY IONIZED HOLLOW CATHODE DISCHARGE [J].

LIDSKY, LM ;

ROSE, DJ ;

YOSHIKAWA, S ;

ROTHLEDER, SD ;

MACKIN, RJ ;

MICHELSON, C .

[3]

LUCE JS, 1958, 2 P UN INT C PEAC US, V31, P305

[4]

Mattox D.M., 1964, ELECTROCHEM TECHNOL, V2, P295

MCLEOD, PS ;

MAH, G .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1974, 11 (01) :119-121

[6]

Shunk F. A., 1969, Constitution of binary alloys, second supplement