用改进的Van der Pauw法测定方形微区的方块电阻

被引：23

作者：

孙以材

张林在

机构：

[1] 河北工学院电子工程系

[2] 河北工学院电子工程系天津

[3] 天津

来源：

物理学报 | 1994年 / 04期

关键词：

方块电阻; 微触点; Van der Pauw; 电势差; der; 方形; 微区;

D O I：

暂无

中图分类号：

TM934.1 [电阻测量及仪器];

学科分类号：

080802 ;

摘要：

借助于显微镜放大8×10倍,用目视法将四探针针尖分别控制在样品的面积为100μm×100μm的方形微区的内切圆外四个角区内,利用改进的Van der Pauw法能测定它的方块电阻。测量不受探针游移的影响,无需用测定探针的精确几何位置来进行边缘效应修正。本文利用有限元法对此结论给予证明,并通过金微触点的方块电阻测定得到证实。

引用

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