添加CaF2-Y2O3的AlN陶瓷的显微结构及热导性质

被引:48
作者
周和平
周劲松
机构
[1] 清华大学材料科学与工程系
关键词
AlN陶瓷,热导率,显微结构,CaF2-Y2O3;
D O I
暂无
中图分类号
TQ174.758.11 [];
学科分类号
摘要
本文探索了影响添加CaF2-Y2O3的AlN陶瓷热导率的显微结构因素.利用XRD、XPS研究了伴随烧结过程的晶格畸变规律,确定了氧及杂质碳在AlN晶格中的扩散行为,从而导致了晶胞的收缩和膨胀.TEM和HREM观察到类似转相区的面缺陷和不同于AlN结构的微区.结果表明,除了晶粒内部的缺陷,第二相强烈地影响烧结体的热导率,挥发性第二相有助于提高热导率.
引用
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页数:6
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