声光外差干涉精密动态角度测量系统

被引:5
作者
李向
王佳
赵洋
李达成
曹芒
机构
[1] 清华大学
关键词
动态角度测量; 外差干涉; 比相; 声光调制;
D O I
暂无
中图分类号
TH741.2 [];
学科分类号
0803 ;
摘要
本文提出了一种用于精密角度测量的新型干涉仪.使用普通氦-氖激光器,采用声光调制、光外差干涉、电信号混频、比相技术,可得到较高的测量分辨率.干涉仪结构简单调整方便。
引用
收藏
页码:11 / 12+15
页数:3
相关论文
empty
未找到相关数据