扩散硅压力传感器灵敏度温度漂移的调整

被引：3

作者：

唐慧

季安

章学群

孙艳宾

杨晓燕

机构：

[1] 沈阳仪器仪表工艺研究所!沈阳市

来源：

关键词：

灵敏系数; 灵敏度温漂; 电阻温度系数; 表面杂质浓度;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

根据扩散硅压力传感器灵敏度温漂产生的原理，分析了灵敏度与温度的关系。并依据实验数据论述了灵敏系数和扩散表面杂质浓度的关系以及电阻温度系数与表面杂质浓度的关系。简单介绍通过调整和控制表面杂质浓度等参数，得到所需的灵敏度温度漂移曲线。

引用

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