微型磁通门传感器研究的现状与未来发展

被引：6

作者：

张雅茹

兰慕杰

王东红

机构：

[1] 哈尔滨工业大学电子科学与技术系

来源：

遥测遥控 | 2002年 / 04期

关键词：

微型磁通门; 传感器; MEMS;

D O I：

10.13435/j.cnki.ttc.001259

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

叙述微型磁通门传感器研究的现状 ,介绍微型磁通门传感器的结构和加工工艺 ,比较不同类型微型磁通门的差异 ,探讨微型磁通门传感器研究的发展方向

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