集成电路制造工艺探析

被引：6

作者：

陈杰

机构：

[1] 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

来源：

中国战略新兴产业 | 2018年 / 28期

关键词：

集成电路; 制造工艺; 探析;

D O I：

10.19474/j.cnki.10-1156/f.005418

中图分类号：

TN405 [制造工艺];

学科分类号：

080903 ; 1401 ;

摘要：

半导体集成电路的生产过程极其复杂,我们可以通过生产晶圆、光刻、离子注入沉积等步骤进行生产,同时本文对其测试工艺也进行了分析和探讨,从多个角度全方位对其制造工艺进行解读,为其进一步发展打下坚实的基础。

引用

页码：224 / 225

页数：2

共 7 条

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