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材料力学.[M].[美]S·铁摩辛柯等 著;胡人礼 译.科学出版社.1978,
亚微米弹性微位移工作台系统的设计及其精度分析
被引：22
作者：
高宏
李庆祥
严普强
机构：
[1] 精密仪器及机械学系
来源：
关键词：
亚微米;
柔性铰链;
微位移工作台;
D O I：
10.16511/j.cnki.qhdxxb.1988.05.003
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
精密微位移工作台系统是实现亚微米级定位精度的关键技术。文中推导出柔性铰 键在Ｒ≤ｔ条件下的理论设计公式，用该理论设计并研制了亚微米弹性微位移工作台及 其闭环控制系统，实验结果表明分辨率优于 ０．０１ μｍ，定位精度达±０．０３ｕｍ．满足亚 微米级定位精度的要求，从而证明了设计理论与实践相符。
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