脱除氢气流中AsH3和PH3的专用浸渍活性炭及滤毒罐（英文）

在半导体领域的金属有机物化学气相沉积 (MOCVD)过程中 ,排出含有剧毒AsH3 和PH3 的氢气 ,必须经过治理达标才能放空。为此 ,在从瑞典引进的MOCVD装置VP5 0 RP中 ,配套使用了德国DragerB3P3滤毒罐。研制出一种新型四元浸渍活性炭及滤毒罐 ,其在同等条件下对氢气流中AsH3 和PH3 的脱除能力为DragerB3P3罐的2倍～ 3倍。