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反渗透法制取电子级超纯水工艺的改进
被引：3
作者：
胡伟林
机构：
[1] 华越微电子有限公司浙江绍兴
来源：
关键词：
反渗透;
真空膜脱气;
混床;
实用;
D O I：
10.16796/j.cnki.1000-3770.2001.05.015
中图分类号：
TU991.2 [净水工程（给水处理）];
学科分类号：
0815 ;
摘要：
在现代大型微电子工业用超纯水系统中二级反渗透 + N2 配合真空膜脱气 +三级混床的工艺属当今最新开发的工艺 ,在大型系统中应用很少 ,我们通过三年多的不断摸索、实践和优化改进 ,最终将该套具有技术先进、投资少、结构紧凑、出水量大、品质高等特点的水系统很成功地稳定运行 ,解决了工艺流程中的缺陷和不足 ,并且很好地控制了运行成本
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页数：4
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