通过实验研究了在自流工作状态下,XeCl准分子激光(λ=308nm,FWHM=21ns)对N2和SF6两种气体开关的触发特性。实验结果表明:(1)在p=0.1MPa,开关工作电压90%VSB(VSB为开关的自击穿电压)时,XeCl激光对N2和SF6两种气体开关的触发阈值约为10~8W/cm2。(2)开关的触发延时和抖动随着激光能量和开关欠压比的增大而减小,当激光能量为33.8mJ,开关工作电压90%VSB(V(SB)=36.5kV)时,充N2开关的延时和抖动分别为85.5ns和400ps。相同欠压比下,SF6气体开关(VSB=52kV)的最小抖动度为2ns。(3)SF6气体开关的触发延时与用T.H.Martin公式计算的结果一致。