深孔内径光电检测技术研究

被引:10
作者
杨坤
徐海峰
毛学良
机构
[1] 中国人民解放军装甲兵技术学院
关键词
深孔; 孔径测量; 精度; 传感器;
D O I
10.16661/j.cnki.1672-3791.2008.19.179
中图分类号
TP274 [数据处理、数据处理系统];
学科分类号
140102 [集成电路设计与设计自动化];
摘要
通过阅读相关文献,首先介绍了目前孔径测量的国内外发展现状,其次介绍了测量孔径的几种方法,并比较了它们的优缺点,最后给出了本课题研究的主要内容和相关技术。
引用
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页数:1
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