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微机械技术正面临新突破(二)
被引：3
作者：
鲍敏杭
机构：
[1] 复旦大学电子工程系上海
来源：
关键词：
表面微机械加工技术;
磁芯;
静电马达;
微机械技术;
电磁铁;
电器;
微机械加工;
光电器件;
光电元件;
电子管;
斩波器;
直接直流变流器;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH703 [结构];
学科分类号：
0804 ;
080401 ;
081102 ;
摘要：
<正> 从今年的Transduser’93反映的情况来看,表面微机械技术已经走出了困境,正在出现新的突破。 1.扬长避短,开发出许多新应用 表面微机械加工的器件已经在光、磁等领域找到了许多基本上不需要功率输出的新应用。美国的TI公司制成了数字化微镜器件,它由768×576个表面微机械加工的反射镜陈列构成,已用于电视的显示系统,它显示的屏幕尺寸大12英尺。更大规模的2048×1152象素的器件正在研制中。日本的丰田
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