激光干涉准直技术的研究

被引:4
作者
裴中方
林玉池
赵美蓉
机构
[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津,天津,天津
关键词
激光准直; 干涉; 条纹; 细分; 直线度;
D O I
10.19650/j.cnki.cjsi.2003.s1.066
中图分类号
TH744 [物理光学仪器];
学科分类号
0803 ;
摘要
针对传统激光准直技术的缺陷 ,介绍了一种基于楔形光学玻璃板的激光干涉准直技术的工作原理、软硬件设计、软件细分原理及其特点 ,给出了系统的主要技术指标 ,实现了系统的高精度、数字化和小型化
引用
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共 4 条
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