高压脉冲电晕放电氮等离子体的分子束质谱诊断研究

被引：4

作者：

唐书凯

王文春

刘佳宏

杨学锋

吴彦

机构：

[1] 大连理工大学等离子体物理化学实验室!大连

[2] 大连理工大学静电与特种电源研究所!大连

来源：

真空科学与技术 | 2000年 / 05期

关键词：

脉冲电晕放电; N2等离子体; 分子束质谱; 离子检测;

D O I：

10.13922/j.cnki.cjovst.2000.05.006

中图分类号：

TB7 [真空技术];

学科分类号：

摘要：

克服强电磁场干扰 ,以具有三级差分抽气系统的分子束质谱为手段 ,对线板式高压脉冲电晕放电N2 等离子体阴极板区的正离子成分进行了首次诊断研究。发现在各种实验条件下 ,N+ 离子流强度均显著大于N+ 2 ;N+ 及N+ 2 离子流强度随放电电压、放电频率升高而增大 ,随放电室气压变化则存在一极值。对N2 等离子体中所包含的主要基元物理化学过程进行了讨论

引用

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