二元光学元件激光直接写入设备的研制

被引:10
作者
张景和
廖江红
刘伟
冯晓国
机构
[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所!长春,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所!长春,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所!长春,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所!长春
关键词
二元光学元件; 激光直写设备; 临界角法;
D O I
10.19650/j.cnki.cjsi.2001.02.012
中图分类号
TH705 [制造用设备];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
本文介绍了二元光学元件制作的基本情况 ,国外制作二元光学元件设备的发展情况及国内制作二元光学元件设备的现状。重点介绍了长春光机所研制的二元光学元件激光直接写入设备中机械总体方面的主要关键技术 ,给出了导轨、传动系统、回转轴系、调焦伺服机构的主要技术指标和完成情况。另外还介绍了临界角法的调焦原理及实现光学调焦的调焦机构。
引用
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